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本发明提供一种用于氮化硅陶瓷基板表面隔离浆料的制备方法,包括以下步骤:a、将94‑106份油性溶剂和2‑5份胶粉加入球磨机内混合,以300r/min的转速球磨0.5h;b、将63‑72份隔离粉体和1‑4份分散剂加入步骤a的浆料中,以300r...该专利属于江苏海古德半导体科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏海古德半导体科技有限公司授权不得商用。
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本发明提供一种用于氮化硅陶瓷基板表面隔离浆料的制备方法,包括以下步骤:a、将94‑106份油性溶剂和2‑5份胶粉加入球磨机内混合,以300r/min的转速球磨0.5h;b、将63‑72份隔离粉体和1‑4份分散剂加入步骤a的浆料中,以300r...