一种用于氮化硅陶瓷基板表面隔离浆料的制备方法技术

本发明专利技术提供一种用于氮化硅陶瓷基板表面隔离浆料的制备方法，包括以下步骤：a、将94‑106份油性溶剂和2‑5份胶粉加入球磨机内混合，以300r/min的转速球磨0.5h；b、将63‑72份隔离粉体和1‑4份分散剂加入步骤a的浆料中，以300r/min的转速继续球磨0.5h；c、将制备好的浆料用真空消泡机消泡，使浆料粘度达到65000～67000mpa*s；d、将消泡好的浆料在15～20℃的温度下刮覆在陶瓷基板表面，形成8～10um厚度的薄膜。本发明专利技术提供的一种用于氮化硅陶瓷基板表面隔离浆料的制备方法，采用油性浆料体系具有良好的分散性和稳定性，确保陶瓷基板表面的隔离浆料厚度均匀。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及陶瓷基板隔离层，特别是涉及一种用于氮化硅陶瓷基板表面隔离浆料的制备方法。

技术介绍

1、陶瓷生坯排胶是陶瓷基板制造过程中的一个重要环节，它主要涉及到去除陶瓷生坯中的有机物成分，如粘合剂、塑化剂等，以确保陶瓷在后续烧结过程中能够达到理想的致密化和性能。陶瓷生坯排胶时，需将多层陶瓷生坯堆叠后加压送进排胶炉内加热排胶，为了防止陶瓷生坯之间出现粘连，通常在各陶瓷生坯表面涂上隔离浆料。

2、现有技术中，氮化硼粉体浆料中氮化硼粉体颗粒分散性效果不佳，易导致粉体颗粒团聚，形成的隔离粉层密度不均。氮化硼粉料浆料层厚度不均，影响基板烧结过程中层间的热传导，基板易出现色差、抗弯不稳定的问题。而且，氮化硼水性浆料体系存在稳定性差，易沉降的问题，需要添加稳定剂或定期搅拌以保持均匀。

技术实现思路

1、本专利技术所要解决的技术问题是：为了克服现有技术中氮化硼粉体浆料分散性和稳定性差，容易导致浆料层厚度不均的不足，本专利技术提供一种用于氮化硅陶瓷基板表面隔离浆料的制备方法。

2、本专利技术解决其技术本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种用于氮化硅陶瓷基板表面隔离浆料的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：

2.如权利要求1所述的一种用于氮化硅陶瓷基板表面隔离浆料的制备方法，其特征在于：所述溶剂为松油醇。

3.如权利要求1所述的一种用于氮化硅陶瓷基板表面隔离浆料的制备方法，其特征在于：所述隔离粉体为氮化硼粉。

4.如权利要求1所述的一种用于氮化硅陶瓷基板表面隔离浆料的制备方法，其特征在于：所述胶粉为丙烯酸树脂。

5.如权利要求1所述的一种用于氮化硅陶瓷基板表面隔离浆料的制备方法，其特征在于：所述分散剂为三油酸山梨糖醇酐。

【技术特征摘要】

1.一种用于氮化硅陶瓷基板表面隔离浆料的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：

2.如权利要求1所述的一种用于氮化硅陶瓷基板表面隔离浆料的制备方法，其特征在于：所述溶剂为松油醇。

3.如权利要求1所述的一种用于氮化硅陶瓷基板表面隔离浆料的制备方法，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙伟，姜益，尹江，
申请(专利权)人：江苏海古德半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：