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光学干涉断层摄影装置、光学干涉断层摄影系统、光学干涉断层摄影方法以及检查方法制造方法及图纸
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文档序号:43398383
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本发明提供能够一次性大范围地进行断层摄影并且能够对位于远处的对象进行断层摄影的光学干涉断层摄影装置等。光学干涉断层摄影装置具备将来自光源的光聚光于试样的物镜,并且基于试样光与参照光的干涉进行所述试样的断层摄影,所述试样光是来自所述试样的反射...
该专利属于大金工业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过大金工业株式会社授权不得商用。
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