光学干涉断层摄影装置、光学干涉断层摄影系统、光学干涉断层摄影方法以及检查方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供能够一次性大范围地进行断层摄影并且能够对位于远处的对象进行断层摄影的光学干涉断层摄影装置等。光学干涉断层摄影装置具备将来自光源的光聚光于试样的物镜，并且基于试样光与参照光的干涉进行所述试样的断层摄影，所述试样光是来自所述试样的反射光，所述参照光是来自设于所述物镜与所述试样之间的参照面的反射光，其中，所述试样光和所述参照光双方通过所述物镜，通过了所述物镜的来自光源的光以广角照射于所述试样，所述参照面由光散射体构成。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

本公开涉及光学干涉断层摄影装置、光学干涉断层摄影系统、光学干涉断层摄影方法以及检查方法。

技术介绍

1、光学干涉断层摄影(optical coherence tomography：oct)主要在医疗领域用于眼球等生物体器官的断层摄影。

2、作为光学干涉断层摄影装置，例如已知有如下的光学干涉断层摄影装置：利用分束器等对来自光源的光进行分割，分别照射到试样和参照镜而得到反射光，利用通过了各自的光路的这些反射光的干涉来进行断层摄影(例如，参照专利文献1)。

3、现有技术文献

4、专利文献

5、专利文献1：日本特开2011-104127号公报

技术实现思路

1、专利技术所要解决的课题

2、本公开的目的在于，提供能够一次性大范围地进行断层摄影且能够对位于远处的对象进行断层摄影的光学干涉断层摄影装置，以及，使用了该光学干涉断层摄影装置的光学干涉断层摄影系统、光学干涉断层摄影方法以及检查方法。

3、用于解决课题的手段

4、本公开涉及一种光学本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种光学干涉断层摄影装置，其具备将来自光源的光聚光于试样的物镜，并且基于试样光与参照光的干涉进行所述试样的断层摄影，所述试样光是来自所述试样的反射光，所述参照光是来自设于所述物镜与所述试样之间的参照面的反射光，其中，

2.根据权利要求1所述的光学干涉断层摄影装置，其中，

3.根据权利要求1或2所述的光学干涉断层摄影装置，其中，

4.根据权利要求1至3中的任一项所述的光学干涉断层摄影装置，其中，

5.根据权利要求1至4中的任一项所述的光学干涉断层摄影装置，其中，

6.根据权利要求1至5中的任一项所述的光学干涉断层摄影装置，其中...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

1.一种光学干涉断层摄影装置，其具备将来自光源的光聚光于试样的物镜，并且基于试样光与参照光的干涉进行所述试样的断层摄影，所述试样光是来自所述试样的反射光，所述参照光是来自设于所述物镜与所述试样之间的参照面的反射光，其中，

2.根据权利要求1所述的光学干涉断层摄影装置，其中，

3.根据权利要求1或2所述的光学干涉断层摄影装置，其中，

4.根据权利要求1至3中的任一项所述的光学干涉断层摄影装置，其中，

5.根据权利要求1至4中的任一项所述的光学干涉断层摄影装置，其中，

6.根据权利要求1至5中的任一项所述的光学干涉断层摄影装置，其中，

7.根据权利要求1至6中的任一项所述的光学干涉断层摄影装置，其中，

8.根据权利要求7所述的光学干涉断层摄影装置，其中，

9.根据权利要求8所述的光学干涉断层摄影装置，其中，

...

【专利技术属性】
技术研发人员：能美政男，坂仓淳史，
申请(专利权)人：大金工业株式会社，
类型：发明
国别省市：