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本发明公开一种高密度的扇出封装结构,包括芯片;第一互连层,其设置于所述芯片表面,包括重布线路;集成器件,所述集成器件设置于所述第一互连层上;金属柱,其第一端与所述第一互连层连接;塑封层,其包覆所述金属柱及所述集成器件,但露出所述金属柱的第二...该专利属于华进半导体封装先导技术研发中心有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过华进半导体封装先导技术研发中心有限公司授权不得商用。
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本发明公开一种高密度的扇出封装结构,包括芯片;第一互连层,其设置于所述芯片表面,包括重布线路;集成器件,所述集成器件设置于所述第一互连层上;金属柱,其第一端与所述第一互连层连接;塑封层,其包覆所述金属柱及所述集成器件,但露出所述金属柱的第二...