下载一种基于Al材的PVD镀膜方法的技术资料

文档序号:43388643

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本发明公开了一种基于Al材的PVD镀膜方法,属于PVD镀膜领域。包括步骤:S1:基底Al材进行清洗;S2:对镀膜室进行加热及抽真空;S3:通入氩气,使气压达到预定值,设置偏压,进行阳极清洗;S4:设置偏压,开启中频镀膜电源,同时开启Al、T...
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