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本发明公开了一种尺寸可调节的晶圆夹具，包括装载盘，其特征在于，包括底座，所述底座中心开设有贯穿底座上下表面的圆形通孔，所述装载盘水平设置在圆形通孔内；所述装载盘由若干扇形装载板构成，所有装载板呈圆形均匀分布且装载板的内圆弧半径小于外圆弧半径...
该专利属于中国电子科技集团公司第二十六研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国电子科技集团公司第二十六研究所授权不得商用。

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