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本公开实施例公开了判断晶圆的导电类型的方法及系统，所述方法包括：在执行热处理工艺之前对待测晶圆进行电阻率测试，获得所述待测晶圆上沿半径方向分布的多个位置分别对应的第一电阻率；在执行热处理工艺之后再次对所述待测晶圆进行电阻率测试，获得所述待测...
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