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本发明涉及一种微机电加速度传感器和用于运行微机电加速度传感器的方法。微机电加速度传感器，具有衬底、第一和第二摇摆件。摇摆件分别通过弹簧元件与布置在衬底上的锚固装置连接并能够绕着平行于衬底延伸的旋转轴线旋转地支承。第一摇摆件关于旋转轴线具有不...
该专利属于罗伯特·博世有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过罗伯特·博世有限公司授权不得商用。

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