微机电加速度传感器和用于运行微机电加速度传感器的方法技术

本发明专利技术涉及一种微机电加速度传感器和用于运行微机电加速度传感器的方法。微机电加速度传感器，具有衬底、第一和第二摇摆件。摇摆件分别通过弹簧元件与布置在衬底上的锚固装置连接并能够绕着平行于衬底延伸的旋转轴线旋转地支承。第一摇摆件关于旋转轴线具有不对称的质量分布，第二摇摆件关于旋转轴线具有对称的质量分布。第一摇摆件包括具有对称质量分布的框架结构和附加质量。框架结构具有第一框架和第二框架。框架关于垂直于旋转轴线且平行于衬底的方向布置在旋转轴线的相对置的侧上。第一框架围绕第一槽口，第二框架围绕第二槽口。附加质量布置在第一槽口中并且通过另外的弹簧元件与第一框架连接。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种微机电加速度传感器和一种用于运行微机电加速度传感器的方法。

技术介绍

1、微机电加速度传感器由现有技术已知。由于这种传感器可能出现应力，加速度信号可能具有不希望的误差或偏移(英文offset)。用于补偿这种偏移的方法是已知的。例如可以通过选择微机电加速度传感器的材料减小变形。此外，例如有利的是，较厚的芯片比较薄的芯片更有利。此外，还可以优化电极和/或电极锚固件的几何形状，以便减小应力。

技术实现思路

1、本专利技术的任务在于，提供一种改进的微机电加速度传感器并且给出一种用于运行微机电加速度传感器的改进的方法。该任务通过根据本专利技术的微机电加速度传感器和用于运行微机电加速度传感器的方法来解决。下面也给出有利的扩展方案。

2、微机电加速度传感器具有衬底、第一摇摆件和第二摇摆件。第一摇摆件通过第一弹簧元件与布置在衬底上的第一锚固装置连接并且可绕着平行于衬底延伸的旋转轴线旋转地支承。第二摇摆件通过第二弹簧元件与布置在衬底上的第二锚固装置连接并且可绕着旋转轴线旋转地支承。第一摇摆件关于旋本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种微机电加速度传感器(1)，具有：

2.根据权利要求1所述的微机电加速度传感器(1)，其中，所述第一锚固装置(102)和所述第二锚固装置(202)沿着所述旋转轴线(2)布置。

3.根据权利要求2所述的微机电加速度传感器(1)，

4.根据权利要求3所述的微机电加速度传感器(1)，其中，所述第一和第二弹簧元件(101、201)沿垂直于所述旋转轴线(2)且平行于所述衬底的方向回曲形地延伸。

5.根据前述权利要求中任一项所述的微机电加速度传感器(1)，

6.根据前述权利要求中任一项所述的微机电加速度传感器(1)，具有：

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【技术特征摘要】

1.一种微机电加速度传感器(1)，具有：

2.根据权利要求1所述的微机电加速度传感器(1)，其中，所述第一锚固装置(102)和所述第二锚固装置(202)沿着所述旋转轴线(2)布置。

3.根据权利要求2所述的微机电加速度传感器(1)，

4.根据权利要求3所述的微机电加速度传感器(1)，其中，所述第一和第二弹簧元件(101、201)沿垂直于所述旋转轴线(2)且平行于所述衬底的方向回曲形地延伸。

【专利技术属性】
技术研发人员：Z·切凯，A·叶米利，M·科斯特，
申请(专利权)人：罗伯特·博世有限公司，
类型：发明
国别省市：

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