下载扩散硅压力传感器输出检校及温度误差改正快速建模方法的技术资料

文档序号:43383820

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本发明公开了一种扩散硅压力传感器输出检校及温度误差改正快速建模方法,包括步骤:S1,初始状态判读;S2,设置高低温实验箱的温度为最低标准温度;设置智能压力控制器的压强为最小标准压强;S3,采集温度数据;S4,采集压强数据;S5,采集不同压强...
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