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本技术属于硅片清洗技术领域，具体涉及一种超声清洗槽，包括：第一清洗槽，第一清洗槽内转动设置有若干主动辊和若干被动辊，被动辊设置在主动辊的上方，主动辊上设置有若干主动环，被动辊上设置有若干对被动环；与第一清洗槽连通的第二清洗槽，第二清洗槽设置...
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