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提供一种可以实现对研磨对象物的优异的研磨去除速度的研磨用组合物。本发明提供的研磨用组合物用于研磨对象物的研磨。上述研磨用组合物包含水、作为氧化剂的高锰酸钠和与氧化剂不同的过渡金属盐，且包含超过10重量％的氧化剂。在一些优选的方式中，上述过渡...
该专利属于福吉米株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过福吉米株式会社授权不得商用。

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