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本技术涉及一种掩膜图形数据检测结构，其中，掩膜图形数据检测结构包括至少两个检测单元；检测单元设置有目标图层的检测项的原始图形数据，且检测单元之间相互独立；检测单元，用于基于目标图层的检测项的原始图形数据，对目标图层的掩膜图形数据中检测项进行...
该专利属于杭州广立微电子股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过杭州广立微电子股份有限公司授权不得商用。

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