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一种多自由度测量系统中折叠光路的角度解耦方法技术方案
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文档序号:43375927
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一种多自由度测量系统中折叠光路的角度解耦方法,属于多自由度测量技术领域。为解决多自由度测量系统中折叠光路的角度精确解耦,本发明根据多自由度测量系统中各个反射器件的空间位置和角度得到光斑位置传感器的法向量;令入射光绕X轴或Y轴偏转一定角度求得...
该专利属于哈尔滨工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过哈尔滨工业大学授权不得商用。
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