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本发明公开了一种粉体材料球形度的精密测量装置及方法，该装置包括激光粉尘传感模块、干式内回旋循环微风模块和数据处理模块，激光粉尘传感模块和干式内回旋循环微风模块分别与数据处理模块相连，通过干式内回旋循环微风模块将粉体材料注入激光粉尘传感模块，...
该专利属于苏州芯合半导体材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州芯合半导体材料有限公司授权不得商用。

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