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一种扫描电镜导航方法、系统、控制系统和存储介质，包括：样品台，设置于样品舱内，样品台用于放置样品；运动平台，设置于样品舱内，并与样品台可分离连接；运动平台用于控制样品台在样品舱内运动；反射镜，设置于样品舱内，用于对样品台及样品进行成像；取像...
该专利属于深圳市中图仪器股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市中图仪器股份有限公司授权不得商用。

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