一种扫描电镜导航方法、系统、控制系统和存储介质，包括：样品台，设置于样品舱内，样品台用于放置样品；运动平台，设置于样品舱内，并与样品台可分离连接；运动平台用于控制样品台在样品舱内运动；反射镜，设置于样品舱内，用于对样品台及样品进行成像；取像装置，取像装置设置于周侧壁，取像装置用于采集样品舱内的第二图像，还用于获取反射镜反射的第一图像。由于在样品舱内设置反射镜，取像装置采集的影像可以包括直接拍摄样品台得到样品与环境物体的影像来避免防撞，以及通过反射镜反射样品台得到的样品影像来对样品位置进行确认，采用反射镜增大了被拍摄物体的景深，从而减少了画面畸变，提升了样品的定位精度。
【技术实现步骤摘要】
本申请涉及扫描测试领域，具体涉及一种扫描电镜导航方法、系统、控制系统和存储介质。
技术介绍
1、扫描电镜是一种扫描测试设备，包括电子光学系统、样品舱、探测系统和成像系统，其中样品舱用于放置样品，电子光学系统用于形成高能电子束发射至样品，探测系统用于收集反射和透射的电子，成像系统则基于探测系统的探测信息形成图像。使用扫描电镜进行样品扫描时，基于每次放置的不同，样品在样品台上的位置也是不同的，因此需要对样品位置进行确认，同时还需要防止样品与探头等设备发生碰撞，因此往往需要两个或以上的相机对样品及其周围的环境进行拍摄，若将相机设置于样品舱内部，相机会严重限制运动平台的运动范围，且景深较低，需要采用低焦距的相机拍摄，画面畸变严重；若将相机设置于样品舱外部，则难以保证拍摄精度。
技术实现思路
1、本申请主要解决的技术问题是相关技术中扫描电镜的样品定位精度差。
2、为了解决上述技术问题，本申请一种实施例中，提供一种扫描电镜导航方法，包括：
3、将样品放置于样品台上；
>4、控制运动平台驱本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种扫描电镜导航方法，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的扫描电镜导航方法，其特征在于，在所述基于所述第二图像，计算所述样品与所述样品舱内的环境物体之间的距离之后，还包括：
3.如权利要求1所述的扫描电镜导航方法，其特征在于，在所述基于所述第一图像，计算所述运动平台的运动控制数据之前，还包括：
4.如权利要求1-3任一项所述的扫描电镜导航方法，其特征在于，在所述控制取像装置拍摄所述反射镜的镜面，得到第一图像之前，还包括：
5.一种扫描电镜导航系统，其特征在于，包括：
6.如权利要求5所述的扫描电镜导航系统，其特征在于，...
【技术特征摘要】
1.一种扫描电镜导航方法，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的扫描电镜导航方法，其特征在于，在所述基于所述第二图像，计算所述样品与所述样品舱内的环境物体之间的距离之后，还包括：
3.如权利要求1所述的扫描电镜导航方法，其特征在于，在所述基于所述第一图像，计算所述运动平台的运动控制数据之前，还包括：
4.如权利要求1-3任一项所述的扫描电镜导航方法，其特征在于，在所述控制取像装置拍摄所述反射镜的镜面，得到第一图像之前，还包括：
5.一种扫描电镜导航系统，其特征在于，包括：
6.如权利要求5所述的扫描电镜导航系统，其特征在于，所述反射镜的镜面，与所述取像装置的光轴方向之间呈45°夹角。
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【专利技术属性】
技术研发人员：朱春涛，郭积健，邹功文，张琥杰，邓灿灿，肖少杰，徐凤龙，余多吉，
申请(专利权)人：深圳市中图仪器股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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