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本申请提供一种颗粒度检测系统，涉及缺陷检测技术领域。该颗粒度检测系统包括：载台、盒体、设置在盒体上的第一光源、第一镜组、反射动镜、第二光源、第二镜组和相机；反射动镜具有第一工作角度和第二工作角度，第一光源用于在反射动镜处于第一工作角度时向待...
该专利属于上海新毅东半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海新毅东半导体科技有限公司授权不得商用。

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