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本技术公开了一种耐低温的磁流体密封结构和真空镀膜装置，包括壳体，所述壳体中设置有磁液槽，所述壳体外侧设置有与所述磁液槽连通的循环管道，所述磁液槽和所述循环管道中设置有磁流体，所述循环管道上设置有用于驱动所述磁流体流动的循环泵。本技术通过循环...
该专利属于深圳金美新材料科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳金美新材料科技有限公司授权不得商用。

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