【技术实现步骤摘要】
本技术涉及镀膜设备，更具体地说，是涉及一种耐低温的磁流体密封结构和真空镀膜装置。
技术介绍
1、冷却主辊的两端为传动轴，两个传动轴都要穿过腔板，与真空镀膜腔室的腔板转动连接。在穿过处需要采用磁流体密封结构密封，以保证腔室内的真空镀。具体的，传动轴可以转动地设置在磁流体密封结构内。这个传动轴中空，用于冷却流体进入冷却主辊内，以及从主辊内出来。因此，容易导致磁流体密封结构的磁液温度较低，被冻住不流动，导致磁流体密封结构的密封性能不佳。
2、以上不足，有待改进。
技术实现思路
1、为了解决冷却主辊上设置的磁流体密封结构中磁液容易冻住，导致磁流体密封结构的密封性能不佳的问题，本技术提供一种耐低温的磁流体密封结构和真空镀膜装置。
2、本技术技术方案如下所述：
3、一种耐低温的磁流体密封结构，包括壳体，所述壳体中设置有磁液槽，所述壳体外侧设置有与所述磁液槽连通的循环管道，所述磁液槽和所述循环管道中设置有磁流体，所述循环管道上设置有用于驱动所述磁流体流动的循环泵。p>
4、进一步本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种耐低温的磁流体密封结构，其特征在于，包括壳体，所述壳体中设置有磁液槽，所述壳体外侧设置有与所述磁液槽连通的循环管道，所述磁液槽和所述循环管道中设置有磁流体，所述循环管道上设置有用于驱动所述磁流体流动的循环泵。
2.根据权利要求1中所述的一种耐低温的磁流体密封结构，其特征在于，所述循环管道上设置有用于控制所述磁流体温度的控温组件。
3.根据权利要求2中所述的一种耐低温的磁流体密封结构，其特征在于，所述控温组件包括用于加热所述磁流体的加热件和用于检测所述磁流体温度的温度传感器。
4.根据权利要求3中所述的一种耐低温的磁流体密封结...
【技术特征摘要】
1.一种耐低温的磁流体密封结构，其特征在于，包括壳体，所述壳体中设置有磁液槽，所述壳体外侧设置有与所述磁液槽连通的循环管道，所述磁液槽和所述循环管道中设置有磁流体，所述循环管道上设置有用于驱动所述磁流体流动的循环泵。
2.根据权利要求1中所述的一种耐低温的磁流体密封结构，其特征在于，所述循环管道上设置有用于控制所述磁流体温度的控温组件。
3.根据权利要求2中所述的一种耐低温的磁流体密封结构，其特征在于，所述控温组件包括用于加热所述磁流体的加热件和用于检测所述磁流体温度的温度传感器。
4.根据权利要求3中所述的一种耐低温的磁流体密封结构，其特征在于，所述加热件为加热管。
5.根据权利要求3中所述的一种耐低温的磁流体密封结构，其特征在于，所述加热件为镀膜腔室，...
【专利技术属性】
技术研发人员：臧世伟，请求不公布姓名，
申请(专利权)人：深圳金美新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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