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本技术公开了一种带干燥功能的管路结构，属于半导体清洗技术领域；包括混液槽；供液管路，供液管路连接于混液槽的出液口和入液口之间；三通管件，三通管件的第一端和第二端连接于供液管路上；干燥管路，连接三通管件的第三端。上述技术方案的有益效果是：由于...
该专利属于上海至纯洁净系统科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海至纯洁净系统科技股份有限公司授权不得商用。

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