【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体清洗，尤其涉及一种带干燥功能的管路结构。
技术介绍
1、湿法清洗设备一般包含槽式清洗设备和单片清洗设备，但不管哪种设备，循环供液管路系统是其重要的组成部分之一，简称为管路系统，管路系统通常由输液管路、手动阀、气动隔膜阀、泵、过滤器、流量计等部件组成。
2、现有技术如图1、图2所示，供液管路2的流程是药液首先进入混液槽21，循环泵22抽取液体进行循环，加热，控制温度，等到温度、浓度等都达标之后，开始供液。通常情况下，对于已经上酸的设备，管路结构不会进行拆卸动作，一般只有在特定保养阶段，管路系统中某些需定期更换的物件进行更换时，才会对其进行拆卸更换。在进行管路系统的拆卸更换动作前，一般需要用去离子水对管路本身进行循环清洗，直至管路流出的液体ph(酸碱度)值接近中性时，才会对需要更换的物料进行拆卸安装，但此时管路内仍然存在大量含有少量的化学液的水，在进行拆卸动作时，其内部的液体会喷洒而出，施工人员将直接接触这些液体。虽然要求施工人员在进行相关作业时需佩戴好防护用具，但是，一旦防护用具发生破损，施工人员就会面临被化学...
【技术保护点】
1.一种带干燥功能的管路结构，其特征在于，包括，
2.根据权利要求1所述的带干燥功能的管路结构，其特征在于，还包括第一阀体(11)，设于所述干燥管路(1)上，所述第一阀体(11)的入口端连接干燥气体。
3.根据权利要求2所述的带干燥功能的管路结构，其特征在于，还包括气体过滤器(12)，设于所述干燥管路(1)上，所述气体过滤器(12)位于所述第一阀体(11)的出气侧。
4.根据权利要求3所述的带干燥功能的管路结构，其特征在于，还包括第二阀体(16)，设于所述干燥管路(1)上，靠近所述三通管件(17)，位于所述气体过滤器(12)的出气侧
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【技术特征摘要】
1.一种带干燥功能的管路结构，其特征在于，包括，
2.根据权利要求1所述的带干燥功能的管路结构，其特征在于，还包括第一阀体(11)，设于所述干燥管路(1)上，所述第一阀体(11)的入口端连接干燥气体。
3.根据权利要求2所述的带干燥功能的管路结构，其特征在于，还包括气体过滤器(12)，设于所述干燥管路(1)上，所述气体过滤器(12)位于所述第一阀体(11)的出气侧。
4.根据权利要求3所述的带干燥功能的管路结构，其特征在于，还包括第二阀体(16)，设于所述干燥管路(1)上，靠近所述三通管件(17)，位于所述气体过滤器(12)的出气侧。
5.根据权利要求4所述的带干燥功能的管路结构，其特征在于，还包括第三阀体(13)和第四阀体(14)，所述第三阀体(13)和所述第四阀体(14)依次设于所述气体过滤器(12)与所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：谢闯，陈聪，刘大威，
申请(专利权)人：上海至纯洁净系统科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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