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本申请涉及一种晶圆镀膜用红外退火炉，涉及退火炉的领域，其包括金属腔体、石英腔体以及石英托架，石英腔体可拆卸固定安装在金属腔体内，且石英腔体的一端可拆卸固定连接有炉门；石英托架包括两个插接杆，炉门靠近石英腔体的一侧固定连接两个安装座，两个安装...
该专利属于上海矽昊电子技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海矽昊电子技术有限公司授权不得商用。

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