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一种双槽波导集成的双栅二维材料中红外光电探测器制造技术
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下载一种双槽波导集成的双栅二维材料中红外光电探测器的技术资料
文档序号:43365427
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本发明公开了一种双槽波导集成的双栅二维材料中红外光电探测器,包括:带亚波长光栅包层的介质槽波导和金属槽波导等离激元结构,二者间隙宽度相同。介质槽波导的两个介质条作为局部栅极。双槽结构将光强烈限制在空气槽中,增强光与物质的相互作用。双栅极的静...
该专利属于上海大学所有,仅供学习研究参考,未经过上海大学授权不得商用。
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