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顺从性单元(10)具备：沿着XY平面扩展的基体板(14)；被配置为能够沿着XY平面相对于基体板移动的台单元(16)；以能够相对于基体板和台单元沿X方向和Y方向移动的方式存在于基体板与台单元之间的顺从性机构(18)；以及通过从基体板的外侧朝向...
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