顺从性单元制造技术

顺从性单元(10)具备：沿着XY平面扩展的基体板(14)；被配置为能够沿着XY平面相对于基体板移动的台单元(16)；以能够相对于基体板和台单元沿X方向和Y方向移动的方式存在于基体板与台单元之间的顺从性机构(18)；以及通过从基体板的外侧朝向内侧按压台单元和顺从性机构而使台单元和顺从性机构复位至相对于基体板的原点位的原点复位机构(20)。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术关于一种顺从性(英文：compliance)单元。

技术介绍

1、例如，在日本特开2001-129784号公报中，公开了一种顺从性单元，具备：沿着xy平面的扩展基体板；台单元；以及顺从性机构。台单元被设定为能够相对于基体板沿着xy平面移动。顺从性机构存在于基体板与台单元之间。顺从性机构具有将多个钢球支承为能够转动的板状的保持器。在保持器安装有用于使顺从性机构复位至相对于基体板的原点位置的螺旋弹簧。

技术实现思路

1、希望提供更良好的顺从性单元。

2、本专利技术以解决上述技术问题为目的。

3、本专利技术的一个方式是一种顺从性单元，具备：基体板，该基体板沿着xy平面扩展；台单元，该台单元被配置为能够沿着所述xy平面相对于所述基体板移动；顺从性机构，该顺从性机构以能够相对于所述基体板和所述台单元沿x方向和y方向移动的方式存在于所述基体板与所述台单元之间；以及原点复位机构，该原点复位机构通过从所述基体板的平面方向的外侧朝向内侧按压所述台单元和所述顺从性机构，从而使所述台单元和所述顺从本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种顺从性单元(10)，其特征在于，具备：

2.根据权利要求1所述的顺从性单元，其特征在于，

3.根据权利要求2所述的顺从性单元，其特征在于，

4.根据权利要求3所述的顺从性单元，其特征在于，

5.根据权利要求1所述的顺从性单元，其特征在于，

6.根据权利要求1～5中任意一项所述的顺从性单元，其特征在于，

7.根据权利要求6所述的顺从性单元，其特征在于，

8.根据权利要求6所述的顺从性单元，其特征在于，

9.根据权利要求3所述的顺从性单元，其特征在于，

10.根据权利要求3所述...

【技术特征摘要】

1.一种顺从性单元(10)，其特征在于，具备：

2.根据权利要求1所述的顺从性单元，其特征在于，

3.根据权利要求2所述的顺从性单元，其特征在于，

4.根据权利要求3所述的顺从性单元，其特征在于，

5.根据权利要求1所述的顺从性单元，其特征在于，

6...

【专利技术属性】
技术研发人员：佐藤太平，
申请(专利权)人：SMC株式会社，
类型：发明
国别省市：