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半导体器件及其制备方法技术
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文档序号:43357612
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提供一种半导体器件制备方法及由此方法制备的半导体器件,该方法包括:提供衬底,衬底包括阵列区和外围区,阵列区形成有存储节点接触垫;外围区形成有第一布线层,存储节点接触垫和第一布线层表面形成有第一保护层;在衬底表面形成第一介质层,第一介质层在第...
该专利属于长鑫科技集团股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过长鑫科技集团股份有限公司授权不得商用。
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