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本技术公开一种曝光机前端系统，包括具有容纳室的外壳主体，所述外壳主体内集成有基材装载模块，所述基材装载模块包括取料单元和收料单元，所述取料单元和收料单元间隔分布在所述外壳主体内部同侧；基材预对准模块，所述基材预对准模块位于所述取料单元和收料...
该专利属于合肥芯碁微电子装备股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥芯碁微电子装备股份有限公司授权不得商用。

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