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本发明公开了一种蒸镀装置，包括真空腔室、基板、第一蒸发源、蒸发分布件以及第二蒸发源，基板安装于真空腔室内；第一蒸发源安装于真空腔室内，用于产生第一膜材蒸汽，且第一蒸发源具有第一出气孔；蒸发分布件与第一出气孔连通，蒸发分部件具有扩散部，扩散部...
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