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本申请提供了金属氧化物纳米层的制备方法、金属氧化物纳米叠层结构及传感器。金属氧化物纳米层的制备方法包括提供衬底与金属盐基材。将金属盐基材设于衬底的表面，形成设于衬底一侧的金属盐层。采用聚焦离子束对金属盐层进行曝光，使金属盐层转化为金属氧化物...
该专利属于深圳大学所有，仅供学习研究参考，未经过深圳大学授权不得商用。

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