下载一种硅片正面粗洗模组的技术资料

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本技术属于硅片清洗技术领域,具体涉及一种硅片正面粗洗模组,本装置包括:一种硅片正面粗洗模组,包括:一对镜像设置的支撑架,所述支撑架上转动设置有主动辊和被动辊,所述主动辊和所述被动辊上支撑有传送带;所述支撑架的顶部设置有清洁组件,所述清洁组件...
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