下载激光装置和电子器件的制造方法的技术资料

文档序号:43349009

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激光装置具有:第1半导体激光器,其输出连续振荡的第1激光;第1放大器,其进行第1激光的脉冲化和放大;波长转换系统,其对从第1放大器输出的第1脉冲激光进行波长转换,而输出第2脉冲激光;准分子放大器,其对第2脉冲激光进行放大;监视器模块,其计测...
该专利属于极光先进雷射株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过极光先进雷射株式会社授权不得商用。

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