激光装置和电子器件的制造方法制造方法及图纸

激光装置具有：第1半导体激光器，其输出连续振荡的第1激光；第1放大器，其进行第1激光的脉冲化和放大；波长转换系统，其对从第1放大器输出的第1脉冲激光进行波长转换，而输出第2脉冲激光；准分子放大器，其对第2脉冲激光进行放大；监视器模块，其计测从准分子放大器输出的第3脉冲激光的波长；以及处理器，其计算中心波长以及波长差，该中心波长是第1目标波长时的波长的计测值和第2目标波长时的波长的计测值的平均值，该波长差是第1目标波长时的波长的计测值与第2目标波长时的波长的计测值之差，计算第1半导体激光器的平均电流值，以使目标中心波长与中心波长之差变小，计算电流值差，以使目标波长差与波长差之差变小，根据平均电流值和电流值差计算第1目标波长时的第1电流值和第2目标波长时的第2电流值，来对第1半导体激光器进行控制。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

本公开涉及激光装置和电子器件的制造方法。

技术介绍

1、近年来，在半导体曝光装置中，随着半导体集成电路的微细化和高集成化，要求分辨率的提高。因此，从曝光用光源发射的光的短波长化得以发展。例如，作为曝光用的气体激光装置，使用输出波长大约为248nm的激光的krf准分子激光装置、以及输出波长大约为193nm的激光的arf准分子激光装置。

2、krf准分子激光装置和arf准分子激光装置的自然振荡光的谱线宽度较宽，大约为350～400pm。因此，在利用使krf和arf激光这种紫外线透过的材料构成投影透镜时，有时产生色差。其结果，分辨率可能降低。因此，需要将从气体激光装置输出的激光的谱线宽度窄带化到能够无视色差的程度。因此，在气体激光装置的激光谐振器内，为了使谱线宽度窄带化，有时具有包含窄带化元件(标准具、光栅等)的窄带化模块(line narrowing module：lnm)。下面，将谱线宽度被窄带化的气体激光装置称为窄带化气体激光装置。

3、现有技术文献

4、专利文献

5、专利文献1：美国专利申请公开第2021/本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种激光装置，其具有：

2.根据权利要求1所述的激光装置，其中，

3.根据权利要求1所述的激光装置，其中，

4.根据权利要求3所述的激光装置，其中，

5.根据权利要求3所述的激光装置，其中，

6.根据权利要求1所述的激光装置，其中，

7.根据权利要求6所述的激光装置，其中，

8.根据权利要求6所述的激光装置，其中，

9.根据权利要求1所述的激光装置，其中，

10.根据权利要求1所述的激光装置，其中，

11.根据权利要求1所述的激光装置，其中，p>

12.根据...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

1.一种激光装置，其具有：

2.根据权利要求1所述的激光装置，其中，

3.根据权利要求1所述的激光装置，其中，

4.根据权利要求3所述的激光装置，其中，

5.根据权利要求3所述的激光装置，其中，

6.根据权利要求1所述的激光装置，其中，

7.根据权利要求6所述的激光装置，其中，

8.根据权利要求6所述的激光装置，其中，

9.根据权利要求1所述的激光装置，其中，

10.根据权利要求1所述的激光装置，...

【专利技术属性】
技术研发人员：野极诚二，若林理，
申请(专利权)人：极光先进雷射株式会社，
类型：发明
国别省市：