温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及在半导体晶片加工过程中对晶片夹持保证晶片稳定旋转的技术，属于机械卡盘机构，具体为一种半导体晶片卡盘机构，可以解决晶片旋转过程中固定晶片的问题，它是满足半导体晶片旋转加工要求的晶片装卡方式。该晶片旋转卡盘机构为三个或三个以上卡盘组件...
该专利属于沈阳芯源微电子设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过沈阳芯源微电子设备有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。