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本发明涉及半导体晶片加工过程中真空系统问题的应对技术，具体的说是一种真空缓冲装置，当设备隐没种原因而突然停止真空供应时，则该系统会发挥作用，保证设备不会因此而造成碎片等损失，起到安全保障的作用。该装置设有真空包、废物收集装置，真空包上设有与...
该专利属于沈阳芯源微电子设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过沈阳芯源微电子设备有限公司授权不得商用。

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