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本发明的实施例提供了一种集成能量约束器的氮化铝兰姆波谐振器及其制备方法，属于射频MEMS器件领域。所述氮化铝兰姆波谐振器包括：衬底，所述衬底的中心处设置有空腔；氮化铝薄膜，位于衬底的上表面上并包括覆盖在所述空腔上方的第一部分和覆盖在衬底上除...
该专利属于南通大学所有，仅供学习研究参考，未经过南通大学授权不得商用。

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