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本发明公开了一种射频传输元件及其制备方法、等离子体装置。所述射频传输元件与一射频源相连，所述射频源用于发送射频信号，所述射频传输元件包括：射频传递结构和保护层，所述保护层位于所述射频传递结构的整个表面；其中，所述保护层的材质包括类金刚石或金...
该专利属于中微半导体设备（上海）股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中微半导体设备（上海）股份有限公司授权不得商用。

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