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根据本发明提供的薄膜体声波谐振器的制备方法包括提供具有顶面的基底；在所述基底的所述顶面上形成介电材料层；在所述介电材料层的远离所述基底的表面上形成底部电极；在所述底部电极的远离所述基底的表面上形成压电材料层；在所述压电材料层的远离所述基底的...
该专利属于瑞声科技（新加坡）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过瑞声科技（新加坡）有限公司授权不得商用。

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