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本发明公开了一种研磨液输送装置，其属于半导体设备技术领域，研磨液输送装置包括输送箱、竖直移动组件、搅拌组件和水平移动组件，其中，输送箱包括进料口和出料口，竖直移动组件设置于输送箱内，竖直移动组件包括第一移动机构和接料斗，第一移动机构能够带动...
该专利属于宁波阳明工业技术研究院有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宁波阳明工业技术研究院有限公司授权不得商用。

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