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本发明公开了一种提升高纯碳化硅原料产率的方法,本发明的方法对碳粉进行研磨预处理,可以使碳粉的形貌从鳞片状变成类球形,增加碳粉的表面积,提高反应活性,使原料合成反应更加充分,不仅可提升碳化硅原料的产率(15‑30%);由于通过研磨使碳粉的形貌...该专利属于安徽微芯长江半导体材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过安徽微芯长江半导体材料有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种提升高纯碳化硅原料产率的方法,本发明的方法对碳粉进行研磨预处理,可以使碳粉的形貌从鳞片状变成类球形,增加碳粉的表面积,提高反应活性,使原料合成反应更加充分,不仅可提升碳化硅原料的产率(15‑30%);由于通过研磨使碳粉的形貌...