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本申请提供一种用于晶圆抛光的支撑组件和抛光设备，支撑组件包括框架、动力机构、第一防护件和第二防护件，动力机构与所述框架沿横向滑动连接且至少部分位于所述框架的下方；第一防护件具有第一避让孔，以套设在所述动力机构外，所述第一防护件连接于所述框架...
该专利属于华海清科股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过华海清科股份有限公司授权不得商用。

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