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一种硅棒自动检测系统及方法技术方案
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文档序号:43339897
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本发明公开一种硅棒自动检测系统及方法,属于硅棒检测领域。所述硅棒自动检测系统包括:龙门机构一。所述龙门机构一具有移动龙门架一、线扫相机一、线扫光源一、工业3D相机一和工业3D相机二。所述线扫相机一与所述线扫光源一分别在所述被测硅棒的径向两侧...
该专利属于杭州利珀科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过杭州利珀科技有限公司授权不得商用。
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