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本发明公开了一种多尺寸兼容碳化硅晶圆剥离铲刀及铲片方法，涉及晶片加工技术领域，包括活动夹具、刀片，活动夹具设有夹槽，刀片前后两侧设有楔形刀刃，活动夹具设有旋钮，夹槽下方设有贯通的螺纹孔，旋钮上设有贯穿入夹槽的螺杆，夹槽设有L型支撑条，L型支...
该专利属于安徽微芯长江半导体材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过安徽微芯长江半导体材料有限公司授权不得商用。

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