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本公开提供一种垂直光栅耦合器及光子芯片，垂直光栅耦合器包括：衬底；入射波导，设置在所述衬底上，所述入射波导具有第一端和第二端，所述第一端用于接收光波，所述第二端用于输出光波；二维光栅，设置在所述衬底上入射波导的所述第二端处，所述二维光栅包括...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。

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