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本发明涉及一种抽真空装置、镀膜设备以及抽真空方法，抽真空设备包括第一真空泵、第二真空泵、出气管和循环气管，第一真空泵的额定功率大于第二真空泵的额定功率，出气管的入口端与中转腔室连接，出气管的出口端向外排放气体，第一真空泵设置于出气管上，循环...
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