【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及显示装置制造，尤其涉及一种抽真空装置以及镀膜设备。
技术介绍
1、在显示面板制造工艺中，在玻璃板上通过蒸镀或溅射等方法形成膜层，再通过曝光、蚀刻等方式形成电路图形。如图1所示，现有的一种显示面板镀膜设备，包括镀膜腔室1′、中转腔室2′、机械手3′、输送带4′、进气管5′和抽真空装置。其中，多个镀膜腔室1′和一个中转腔室2′围绕在机械手3′的周围，输送带4′与中转腔室2′连接，输送带4′用于向中转腔室2′输入或输出显示面板。镀膜过程中，显示面板通过输送带4′运送至中转腔室2′内，然后机械手3′从中转腔室2′内抓取显示面板并送入各个镀膜腔室1′内进行溅射镀膜。由于镀膜腔室1′和机械手3′所在腔室内均处于真空状态，输送带4′处于常压状态，显示面板在进出中转腔室2′过程中，中转腔室2′需要在真空状态和常压状态之间进行转换。例如，显示面板从中转腔室2′转入镀膜腔室1′时，中转腔室2′呈真空状态；显示面板从中转腔室2′转出至输送带4′时，中转腔室2′呈常压状态。进气管5′和抽真空装置设置在中转腔室2′上，进气管5′用于向中转腔室2′内...
【技术保护点】
1.一种抽真空装置，其特征在于，包括第一真空泵、第二真空泵、出气管和循环气管，所述第一真空泵的额定功率大于所述第二真空泵的额定功率，所述出气管的两端分别为入口端和出口端，所述出气管的入口端用于与中转腔室连接，所述出气管的出口端用于向外排放气体，所述第一真空泵设置于所述出气管上，所述循环气管的两端均与所述出气管连接，且所述循环气管的一端位于所述第一真空泵与所述出气管的入口端之间，所述循环气管的另一端位于所述第一真空泵与所述出气管的出口端之间，所述第二真空泵设置于所述循环气管上。
2.根据权利要求1所述的抽真空装置，其特征在于，所述出气管上设置有气阀，所述气阀...
【技术特征摘要】
1.一种抽真空装置，其特征在于，包括第一真空泵、第二真空泵、出气管和循环气管，所述第一真空泵的额定功率大于所述第二真空泵的额定功率，所述出气管的两端分别为入口端和出口端，所述出气管的入口端用于与中转腔室连接，所述出气管的出口端用于向外排放气体，所述第一真空泵设置于所述出气管上，所述循环气管的两端均与所述出气管连接，且所述循环气管的一端位于所述第一真空泵与所述出气管的入口端之间，所述循环气管的另一端位于所述第一真空泵与所述出气管的出口端之间，所述第二真空泵设置于所述循环气管上。
2.根据权利要求1所述的抽真空装置，其特征在于，所述出气管上设置有气阀，所述气阀位于所述第一真空泵与所述出气管的出口端之间，所述气阀包括壳体，所述壳体内具有容纳腔，所述容纳腔内设置有隔板，所述隔板将所述容纳腔分隔形成第一腔室和第二腔室，所述隔板贯穿设置有气孔，所述第一腔室与所述第二腔室通过所述气孔连通，所述隔板上设置有用于选择性封堵所述气孔的阀板，所述第一真空泵的出口通过所述出气管与所述第一腔室连通，所述循环气管的一端与所述第一腔室连通，所述第二腔室通过所述出气管与外部连通。
3.根据权利要求2所述的抽真空装置，其特征在于，所述气阀还包括弹簧，所述阀板通过所述弹簧与所述壳体弹性连接。
4.根据权利要求3所述的抽真空装置，其特征在于，所述气阀还包括调节板，所述调节板与所述阀板间隔设置，所述弹簧的两端分别与所述调节板和...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘洋，
申请(专利权)人：乐金显示光电科技中国有限公司，
类型：发明
国别省市：
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