下载一种半导体器件、制备方法、功率模块、转换电路和车辆的技术资料

文档序号:43338380

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本发明公开了一种半导体器件、制备方法、功率模块、转换电路和车辆,半导体器件包括:衬底;半导体外延层,位于衬底的一侧;栅极沟槽,位于半导体外延层远离衬底一侧的表面;沟槽栅结构,位于栅极沟槽中;第一电极,位于衬底远离半导体外延层的一侧;第二电极...
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