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本发明涉及光学氢气传感器技术领域，具体涉及一种基于超薄Pd薄膜的高灵敏度氢气传感器及其制备方法，包括基底、设于基底上的钯金属薄膜层、设于钯金属薄膜层上的双曲超材料层和设于双曲超材料层上的棱镜，所述双曲超材料层为银薄膜层和氧化钛薄膜层交替排列...
该专利属于山东高等技术研究院所有，仅供学习研究参考，未经过山东高等技术研究院授权不得商用。

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