【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及光学氢气传感器，尤其涉及一种基于超薄pd薄膜的高灵敏度氢气传感器及其制备方法。
技术介绍
1、氢气是一种清洁、可再生、高效的能源，被认为是未来能源的重要选择之一。随着环保意识的提高，氢能技术也得到了越来越广泛的关注和研究。氢气在氢能燃料电池、化工、能源储存等领域具有广泛的应用前景。传统的氢气传感器通常采用催化剂、热电等方法进行检测，但这些方法存在灵敏度低、响应时间长、易受干扰等问题。因此，需要开发一种新型的氢气传感器，以提高灵敏度和准确性。
2、随着氢气技术的发展，氢气传感器也得到了越来越广泛的应用和研究。再者，氢气传感器技术的提高，对满足氢能技术在不同领域的需求，推动氢能技术的发展起着决定性的作用。目前，常用的氢气传感器有催化型氢气传感器、热导型氢气传感器、光学型氢气传感器、电阻型氢气传感器等。对于这些电传感器，他们工作环境受限，并且容易受到电磁干扰(emi)的影响，可能产生的火花而发生爆炸。光学氢气传感器具有固有的emi免疫力，同时还具备分布式和多路复用监测的能力，使得在实际应用中具有更强的竞争力。
...【技术保护点】
1.一种基于超薄Pd薄膜的高灵敏度氢气传感器，其特征在于，包括基底、设于基底上的钯金属薄膜层、设于钯金属薄膜层上的双曲超材料层和设于双曲超材料层上的棱镜，所述双曲超材料层为银薄膜层和氧化钛薄膜层交替排列形成。
2.根据权利要求1所述基于超薄Pd薄膜的高灵敏度氢气传感器，其特征在于，所述钯金属薄膜层的厚度为7-14nm。
3.根据权利要求1所述基于超薄Pd薄膜的高灵敏度氢气传感器，其特征在于，所述氧化钛薄膜层的厚度为12-22nm，银薄膜层的厚度为10-17nm。
4.根据权利要求3所述基于超薄Pd薄膜的高灵敏度氢气传感器，其特征在于...
【技术特征摘要】
1.一种基于超薄pd薄膜的高灵敏度氢气传感器，其特征在于，包括基底、设于基底上的钯金属薄膜层、设于钯金属薄膜层上的双曲超材料层和设于双曲超材料层上的棱镜，所述双曲超材料层为银薄膜层和氧化钛薄膜层交替排列形成。
2.根据权利要求1所述基于超薄pd薄膜的高灵敏度氢气传感器，其特征在于，所述钯金属薄膜层的厚度为7-14nm。
3.根据权利要求1所述基于超薄pd薄膜的高灵敏度氢气传感器，其特征在于，所述氧化钛薄膜层的厚度为12-22nm，银薄膜层的厚度为10-17nm。
4.根据权利要求3所述基于超薄pd薄膜的高灵敏度氢气传感器，其特征在于，所述氧化钛薄膜层的厚度...
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。